潔凈室是(shi)污(wu)染(ran)控制(zhi)的(de)基礎，是(shi)一個有(you)空氣過濾、分配、優化、建筑材料和裝置的(de)房間。在(zai)潔凈室極高的(de)硅片制(zhi)造鏈中(zhong)，必須是(shi)沒有(you)污(wu)染(ran)源的(de)潔凈車間，才能使硅片零件正(zheng)常量(liang)產。

與國外(wai)相比，中(zhong)國潔(jie)凈室的發展起步相對(dui)較晚。在(zai)過去的二(er)十年里(li)，隨著越(yue)來越(yue)多的外(wai)國公司在(zai)中(zhong)國設(she)立企業(ye)或(huo)合資企業(ye)，一些高(gao)科技(ji)技(ji)術增加了他們對(dui)生產(chan)環境的要(yao)求。為了提升(sheng)競爭力，各(ge)個行業(ye)都開始追求潔(jie)凈室的質量。

? ? 正確、合理(li)的(de)(de)設計是(shi)保證無(wu)塵(chen)室(shi)穩(wen)定(ding)運行的(de)(de)前(qian)提(ti)，在實際使(shi)用中，不正確的(de)(de)維護(hu)操(cao)作和不規范的(de)(de)管理(li)都會使(shi)無(wu)塵(chen)室(shi)的(de)(de)空氣潔(jie)凈度(du)降低(di)，造成無(wu)塵(chen)室(shi)指標達不到要求。因此，正確科學地進行無(wu)塵(chen)室(shi)維護(hu)和管理(li)非常重要，并(bing)且這要從各方面來(lai)完善。

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人員控制

? ? 經測試分(fen)析，無塵室的(de)微污(wu)染中80%是工(gong)(gong)作(zuo)人(ren)員帶來的(de)。當工(gong)(gong)作(zuo)人(ren)員進(jin)出(chu)無塵室時塵埃有顯著增加，潔凈度立(li)刻(ke)劣化。因此在工(gong)(gong)作(zuo)人(ren)員進(jin)入無塵室前要做好清潔擦(ca)拭等(deng)防塵動作(zuo)，且(qie)企業也(ye)要對工(gong)(gong)作(zuo)人(ren)員進(jin)行(xing)培(pei)訓，并制(zhi)定相應的(de)章程和制(zhi)度等(deng)。

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