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光學微電子凈化工程潔凈車間技術探討

發布時間:2021-11-27人氣:507


光學(xue)微(wei)電子凈(jing)化(hua)工程,定義為將(jiang)一定空間范圍內空氣中的微(wei)塵粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將(jiang)室內溫(wen)濕(shi)度(du)、潔凈(jing)度(du)、室內壓(ya)力、氣流速度(du)與氣流分(fen)布(bu)、噪音(yin)震(zhen)動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而(er)所給于特別設計(ji)的密閉空間。

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? 光(guang)學微(wei)電(dian)子凈化(hua)工程亦名(ming)無塵室或清凈室,已是半導體、精密制(zhi)造、液晶制(zhi)造、光(guang)學制(zhi)造、線路板制(zhi)造和生(sheng)物化(hua)學、醫藥、食品制(zhi)造等行業(ye)不可或缺的(de)(de)重(zhong)(zhong)要設施(shi)。近(jin)幾(ji)年來(lai),由(you)于技術創新發展,對于產(chan)品的(de)(de)高精密度化(hua)、細小型化(hua)的(de)(de)需求更為迫(po)切。如超大型積體電(dian)路的(de)(de)研究制(zhi)造,已成為世界各國在科(ke)技發展上極為重(zhong)(zhong)視的(de)(de)項(xiang)。

光學(xue)微電子(zi)凈(jing)化工程一(yi)般包括:

1.?潔凈生產區

2.潔凈(jing)(jing)輔助間(包括人(ren)員凈(jing)(jing)化(hua)用房、物料凈(jing)(jing)化(hua)用室和(he)部分生(sheng)活用室等(deng))

3.管理(li)(li)區(包括辦(ban)公(gong)、值班、管理(li)(li)和休息)

4.設(she)備區(包括凈化空調系(xi)統應用(yong)、電氣用(yong)房、高純(chun)水和高純(chun)氣用(yong)房、冷熱設(she)備用(yong)房)

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潔凈車間所需材料

1.?凈化廠房(fang)墻(qiang)、頂板材一般(ban)多采(cai)用50mm厚的(de)夾芯彩(cai)鋼板制造(zao)(zao),其(qi)特點為美觀、剛性強。圓弧(hu)墻(qiang) 角、門、窗(chuang)框等一般(ban)采(cai)用專(zhuan)用氧化鋁(lv)制造(zao)(zao)。

2.地面(mian)可(ke)采用環氧自流坪地坪或高(gao)級耐磨塑(su)料地板,有(you)防(fang)靜電(dian)要求的,可(ke)選用防(fang)靜電(dian)型。

3.送回風管(guan)道用熱渡(du)鋅板制成,貼凈化(hua)保(bao)溫效果好的阻燃型PF發(fa)泡(pao)塑膠板。

4.高效送風口用不銹鋼框架,美(mei)觀清潔,沖孔網板用烤漆鋁板,不生(sheng)銹不粘塵,宜清潔。


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光學微(wei)電子(zi)凈化(hua)工程解(jie)決方(fang)案:

組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風(feng)口。

組(zu)(zu)合式空氣處理機組(zu)(zu)里含有(you)各(ge)種功(gong)能段(duan)(duan)(duan)(duan),如(ru)混(hun)合段(duan)(duan)(duan)(duan)、初效(xiao)過濾段(duan)(duan)(duan)(duan)、表冷段(duan)(duan)(duan)(duan)、二(er)次回風段(duan)(duan)(duan)(duan)(或中間段(duan)(duan)(duan)(duan))、加熱段(duan)(duan)(duan)(duan)、加濕段(duan)(duan)(duan)(duan)、中效(xiao)過濾段(duan)(duan)(duan)(duan)、風機段(duan)(duan)(duan)(duan)等。其冷源由冷水機組(zu)(zu)提供。

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優點:

A.空氣處理(li)效果好,因空氣經過集中處理(li),在送風過程中被污染程度(du)較低(di)。送風的溫度(du)、濕度(du)的控制比較精確;

B.比(bi)較適(shi)用于有集中冷源的或是較大(da)的廠(chang)房;

C.空調冷(leng)熱源可(ke)與廠房普通空調系(xi)統合(he)用或(huo)獨立冷(leng)熱源;

D.維修頻率較低;

E.車間的噪音低。

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