潔(jie)凈室的(de)氣(qi)流速度/換氣(qi)次(ci)數一直(zhi)是(shi)(shi)潔(jie)凈室設(she)計中(zhong)(zhong)關(guan)注的(de)問(wen)題(ti)。隨著(zhu)潔(jie)凈室污染源控制效果和(he)最終過濾器效率(lv)的(de)提(ti)高，關(guan)于相(xiang)關(guan)規范(fan)和(he)導(dao)則的(de)推(tui)薦(jian)值或參考值是(shi)(shi)否偏于保守的(de)討論已有很多(duo)。FFU在(zai)應用(yong)中(zhong)(zhong)人(ren)們所擔心的(de)噪音、損壞、維護等問(wen)題(ti)在(zai)實(shi)踐中(zhong)(zhong)得(de)到了解決。隨著(zhu)FFU的(de)不斷(duan)提(ti)高，是(shi)(shi)否采用(yong)FFU回風系統也(ye)是(shi)(shi)一個熱(re)點：懸浮分子(zi)污染(AMC)的(de)控制在(zai)微(wei)電子(zi)和(he)IC行(xing)業已經越來越被提(ti)上日程(cheng)并(bing)受到關(guan)注。以下是(shi)(shi)對這(zhe)些問(wen)題(ti)的(de)總結和(he)分析(xi)。

在(zai)具(ju)有(you)一定潔凈(jing)度(du)的(de)(de)潔凈(jing)室中(zhong)，氣(qi)流速度(du)的(de)(de)確定隨(sui)著潔凈(jing)室的(de)(de)使用而變化。它不僅受室內(nei)粉塵排(pai)放和過濾效率(lv)的(de)(de)影響，還受其他因素(su)的(de)(de)影響。就工(gong)業潔凈(jing)室而言，影響潔凈(jing)度(du)和氣(qi)流速度(du)選(xuan)擇的(de)(de)主要因素(su)有(you)：

(1)室內(nei)污染源(yuan)：建筑構件、人員數(shu)量(liang)和(he)操作活動、工藝(yi)設備(bei)、工藝(yi)材料和(he)工藝(yi)本身(shen)都是塵粒(li)釋放的來源(yuan)，根(gen)據具(ju)體情(qing)況變化(hua)較(jiao)大；

(2)室(shi)內氣流(liu)形態和分(fen)布：單(dan)向流(liu)動要求流(liu)線均(jun)勻、均(jun)等，但會受到工藝(yi)設備的布置和位置變化、人員活動等因素的干擾(rao)。形成局部(bu)渦(wo)流(liu)；非單(dan)向流(liu)動需(xu)要填充和混合，以避免(mian)死角和溫度分(fen)層(ceng)。