凈化車間為(wei)什(shen)么(me)要(yao)控制溫(wen)濕度？主要(yao)作用和具體措(cuo)施(shi)是什(shen)么(me)？

凈化車(che)間(jian)的(de)(de)(de)(de)溫(wen)(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)和(he)濕(shi)度(du)(du)(du)(du)主要(yao)根據你(ni)的(de)(de)(de)(de)加工工藝要(yao)求(qiu)(qiu)來決定(ding)。在(zai)滿足加工工藝的(de)(de)(de)(de)條件(jian)下，應首先考慮人的(de)(de)(de)(de)舒適性。隨著空(kong)氣(qi)潔凈度(du)(du)(du)(du)要(yao)求(qiu)(qiu)的(de)(de)(de)(de)提高(gao)，工藝對(dui)溫(wen)(wen)(wen)濕(shi)度(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)要(yao)求(qiu)(qiu)越(yue)(yue)來越(yue)(yue)高(gao)，必須(xu)達到一定(ding)的(de)(de)(de)(de)溫(wen)(wen)(wen)濕(shi)度(du)(du)(du)(du)水(shui)平。例如，在(zai)大(da)(da)規模集成電路生(sheng)(sheng)產(chan)的(de)(de)(de)(de)光(guang)刻曝光(guang)工藝中，要(yao)求(qiu)(qiu)作為掩膜材料(liao)的(de)(de)(de)(de)玻璃和(he)硅(gui)片的(de)(de)(de)(de)熱膨(peng)脹(zhang)系數之差(cha)越(yue)(yue)來越(yue)(yue)小。直徑100 um的(de)(de)(de)(de)硅(gui)片，溫(wen)(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)上升(sheng)1度(du)(du)(du)(du)，引(yin)起0.24um的(de)(de)(de)(de)線膨(peng)脹(zhang)，所以(yi)需要(yao)恒溫(wen)(wen)(wen)0.1度(du)(du)(du)(du)，濕(shi)度(du)(du)(du)(du)值(zhi)一般較低，因為人出汗后(hou)，產(chan)品(pin)會(hui)被污染(ran)，尤其是怕鈉的(de)(de)(de)(de)半導(dao)體(ti)車(che)間(jian)，這個(ge)車(che)間(jian)不要(yao)超(chao)過25度(du)(du)(du)(du)。濕(shi)度(du)(du)(du)(du)過大(da)(da)會(hui)導(dao)致(zhi)更多(duo)的(de)(de)(de)(de)問題。當相(xiang)對(dui)濕(shi)度(du)(du)(du)(du)超(chao)過55%時(shi)，冷卻水(shui)管壁上會(hui)發生(sheng)(sheng)凝(ning)結。如果發生(sheng)(sheng)在(zai)精密器件(jian)或電路中，會(hui)造成各(ge)種事故。相(xiang)對(dui)濕(shi)度(du)(du)(du)(du)50%時(shi)容易生(sheng)(sheng)銹。

但對于大(da)部分(fen)潔(jie)凈空間，為了防止外界污染侵(qin)入，需要保持內(nei)部壓(ya)(ya)力(li)(靜壓(ya)(ya))高于外部壓(ya)(ya)力(li)(靜壓(ya)(ya))。壓(ya)(ya)差的維(wei)持一般應符(fu)合以下原則：

1.具(ju)(ju)有(you)高(gao)清(qing)潔(jie)度水平的(de)空間的(de)壓力高(gao)于具(ju)(ju)有(you)低清(qing)潔(jie)度水平的(de)相(xiang)鄰空間的(de)壓力。

2.相通的潔(jie)凈(jing)室(shi)之間(jian)的門(men)應向潔(jie)凈(jing)度高的房間(jian)敞開(kai)。

潔(jie)凈空間的壓力高于(yu)不(bu)潔(jie)凈空間的壓力。

壓(ya)差(cha)的維持依賴于新(xin)風(feng)量，新(xin)風(feng)量可以補(bu)償這(zhe)個壓(ya)差(cha)下從縫隙漏出的風(feng)量。因(yin)此(ci)，壓(ya)差(cha)的物理(li)意義(yi)是(shi)泄漏(或滲(shen)透)氣(qi)流通過(guo)潔凈室各種(zhong)縫隙的阻力。

對于湍流潔凈室(shi)，空(kong)氣的稀釋是(shi)減(jian)少室(shi)內污染的主(zhu)要(yao)途徑，所以(yi)(yi)主(zhu)要(yao)使用換氣次數的概(gai)念(nian)，而不是(shi)直接使用速(su)度的概(gai)念(nian)。但是(shi)，室(shi)內空(kong)氣流速(su)也有以(yi)(yi)下(xia)要(yao)求；

1.送風口(kou)出口(kou)處的風速(su)不能太高。與空調房間相比，要求速(su)度衰減更快，擴散角更大。

2.氣(qi)流橫過(guo)(guo)水平(ping)面(mian)的(de)速(su)度(如側送時的(de)回流速(su)度)不(bu)宜過(guo)(guo)高，以(yi)免將表面(mian)顆粒(li)吹(chui)回氣(qi)流中造成二次(ci)污(wu)染。這(zhe)個速(su)度一般不(bu)應該是(shi)0.2m/s。

我國《空氣(qi)潔凈技術措施(shi)》和《潔凈廠房設(she)計規范》)都是(shi)這樣規定的。

平(ping)行(xing)流(liu)(層流(liu))潔凈室0.25米/秒

平行流(層流)潔凈室0.35米/秒