干凈的(de)(de)(de)(de)概(gai)念？按照(zhao)國(guo)際(ji)慣例，無塵(chen)凈化(hua)水(shui)平主要(yao)是(shi)(shi)根(gen)據每(mei)(mei)立方(fang)米(mi)(mi)空氣中直(zhi)徑大于分類(lei)標準的(de)(de)(de)(de)顆粒物數量(liang)來定義(yi)的(de)(de)(de)(de)。控制在一(yi)個(ge)非常(chang)小的(de)(de)(de)(de)單元中。與我們常(chang)見的(de)(de)(de)(de)灰塵(chen)相比，該標準中的(de)(de)(de)(de)灰塵(chen)顆粒非常(chang)小，但即使是(shi)(shi)一(yi)點點灰塵(chen)也會對光學(xue)結構產(chan)(chan)(chan)生(sheng)非常(chang)大的(de)(de)(de)(de)負面(mian)影響(xiang)，所以(yi)無塵(chen)是(shi)(shi)光學(xue)結構產(chan)(chan)(chan)品生(sheng)產(chan)(chan)(chan)的(de)(de)(de)(de)必然要(yao)求。如果每(mei)(mei)立方(fang)米(mi)(mi)小于0.5微米(mi)(mi)的(de)(de)(de)(de)塵(chen)粒數控制在3500個(ge)以(yi)下(xia)，就(jiu)達到了國(guo)際(ji)無塵(chen)標準的(de)(de)(de)(de)A級。目前應用于芯片(pian)級生(sheng)產(chan)(chan)(chan)加工的(de)(de)(de)(de)無塵(chen)標準對粉(fen)塵(chen)的(de)(de)(de)(de)要(yao)求比A級更高(gao)，這樣的(de)(de)(de)(de)高(gao)標準主要(yao)用于一(yi)些更高(gao)級別的(de)(de)(de)(de)芯片(pian)生(sheng)產(chan)(chan)(chan)。細(xi)粉(fen)塵(chen)量(liang)嚴格控制在每(mei)(mei)立方(fang)米(mi)(mi)1000個(ge)以(yi)內(nei)，也就(jiu)是(shi)(shi)業內(nei)俗稱(cheng)的(de)(de)(de)(de)1K級別。

無(wu)塵車間是指在一(yi)定(ding)空間范圍(wei)內(nei)消除空氣(qi)中的顆粒物(wu)、有害空氣(qi)、細菌等污染物(wu)，將室內(nei)溫度、潔凈度、室內(nei)壓(ya)力、氣(qi)流(liu)速度及分(fen)布、噪聲、振動、照明(ming)、靜電等控制在一(yi)定(ding)需求范圍(wei)內(nei)的專(zhuan)門設計的房間。