四川潔凈(jing)室(shi)(shi)工程技術的(de)(de)應用(yong),潔凈(jing)室(shi)(shi)的(de)(de)氣流速(su)度/換氣次數(shu)一直是(shi)(shi)潔凈(jing)室(shi)(shi)設計中關注的(de)(de)問題。隨著潔凈(jing)室(shi)(shi)污染(ran)源控制效(xiao)果和(he)最(zui)終過濾器效(xiao)率(lv)的(de)(de)提高,關于相關規范和(he)導則(ze)的(de)(de)推薦值或參考值是(shi)(shi)否偏于保守的(de)(de)討論已有很多。FFU在(zai)應用(yong)中人們所(suo)擔心的(de)(de)噪音、損(sun)壞(huai)、維護(hu)等問題在(zai)實踐(jian)中得到(dao)了(le)解決(jue)。
隨(sui)著FFU的(de)(de)不斷提(ti)高(gao),是(shi)否(fou)采用FFU回風系統(tong)也是(shi)一個熱點:懸浮(fu)分子污染(ran)(AMC)的(de)(de)控制在微(wei)電子和IC行業已經越來越被提(ti)上日(ri)程并受到關注。以下是(shi)對這些問題的(de)(de)總結(jie)和分析(xi)。具有一定潔凈度(du)的(de)(de)潔凈室(shi)(shi)(shi)中(zhong)氣(qi)流(liu)速(su)度(du)的(de)(de)確定因(yin)(yin)潔凈室(shi)(shi)(shi)的(de)(de)用途和其他(ta)具體(ti)情況而異。它不僅(jin)受室(shi)(shi)(shi)內粉塵排放和過濾效(xiao)率的(de)(de)影(ying)響,還受其他(ta)因(yin)(yin)素的(de)(de)影(ying)響。
就工業潔凈室而言,影響潔凈度和氣(qi)流速度選擇的主要因素有:
(1)室(shi)內污染(ran)源:建(jian)筑構件、人(ren)員(yuan)數(shu)量和(he)(he)操作活動、工(gong)藝(yi)設備、工(gong)藝(yi)材料和(he)(he)工(gong)藝(yi)本身都是粉(fen)塵(chen)排放源,根據具體情況變化較大;
(2)室內氣流形態和分布:單(dan)向(xiang)流動要求流線均勻、均等,但(dan)會受到工藝設備(bei)的(de)布置(zhi)和位置(zhi)變化、人員活動等因素的(de)干擾(rao)。形成局部渦流;非單(dan)向(xiang)流動需要填(tian)充和混(hun)合,以避免死(si)角和溫度分層。