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成都半導體提純車間裝修安全工作規范及防護方案

發(fa)布時間:2022-04-11人氣:508

成都鴻潔源凈(jing)(jing)化(hua)承(cheng)諾(nuo):對于我公司建(jian)設(she)的所(suo)有潔凈(jing)(jing)室工程(cheng),工程(cheng)完工后(hou),我公司專業技術工程(cheng)師將(jiang)對相關人員(yuan)進行潔凈(jing)(jing)空調(diao)如(ru)何(he)開(kai)啟、多久更換一(yi)次空氣過濾器(qi)的培訓,并制定出一(yi)套潔凈(jing)(jing)室的設(she)備開(kai)啟和(he)維護(hu)方案。


1.進(jin)入(ru)無塵(chen)車(che)間(jian)(jian);一號的(de)準備階段。在進(jin)入(ru)潔凈車(che)間(jian)(jian),之前,您必須經過凈化(hua)工程公司的(de)專業(ye)培訓(xun)。

2.在清潔車(che)間,時嚴(yan)(yan)禁吸煙、吃(chi)(喝)東西和吃(chi)外來雜物(如報紙、雜志、鉛筆(bi)等(deng))。)不準帶(dai)入(ru),嚴(yan)(yan)禁嬉戲奔跑(pao)和同學聚會聊天。

3.進(jin)入潔凈室前,在(zai)指定地(di)點脫鞋,鞋子(zi)放(fang)(fang)在(zai)鞋柜(ju)里,外套放(fang)(fang)在(zai)衣柜(ju)里,個人物(wu)品(pin)放(fang)(fang)在(zai)私柜(ju)里,柜(ju)子(zi)里不(bu)要放(fang)(fang)食物(wu)。

4.進入(ru)無(wu)塵室(shi)須先在更(geng)衣室(shi),將口罩,無(wu)塵帽,無(wu)塵衣以及鞋套按規定依程序穿戴整齊,再經空氣洗塵室洗塵,并(bing)踩踏除塵地毯(洗塵室地板(ban)上)方得(de)進入。

5. 戴(dai)口罩時,應將口罩戴(dai)在鼻(bi)子之上,以(yi)將口鼻(bi)孔蓋住為原則,以(yi)免呼(hu)吸時污染(ran)芯片(pian)。

6. 穿著(zhu)無(wu)塵衣(yi),無(wu)塵帽(mao)前應先整(zheng)理(li)服裝以及頭(tou)發,以免著(zhu)上無(wu)塵衣(yi)后,不得整(zheng)理(li)又感不適。


7. 整肅儀容后,先戴(dai)無(wu)塵(chen)帽,無(wu)塵(chen)帽的(de)穿戴(dai)原(yuan)則系:

(1)頭(tou)發必須(xu)完(wan)全(quan)覆蓋在帽(mao)內,不得外露(lu)。

(2)無塵帽之下擺要(yao)平(ping)散于兩肩(jian)之上(shang),穿(chuan)上(shang)工(gong)作衣后,方不致下擺脫出(chu),裸露肩(jian)頸(jing)部。


8..無(wu)(wu)塵(chen)帽(mao)戴妥后(hou),再著無(wu)(wu)塵(chen)衣(yi)(yi),無(wu)(wu)塵(chen)衣(yi)(yi)應尺(chi)吋(cun)合宜,才不致有褲管或(huo)衣(yi)(yi)袖太短而裸露皮膚之虞(yu)。

9.穿(chuan)衣時應(ying)注意帽之下擺(bai)應(ying)保平整之狀態,無塵衣不可反穿(chuan)。?穿著無塵(chen)衣后,才著鞋(xie)套,拉上(shang)鞋(xie)套并(bing)將鞋(xie)套整平(ping),確實蓋(gai)在褲(ku)管之(zhi)上(shang)。

10. 戴(dai)手套時應避免以光手碰觸(chu)手套之(zhi)手掌及指(zhi)尖(jian)處(chu)(防(fang)止鈉離子(zi)污(wu)染(ran)),戴上手(shou)套后,應將手(shou)套之手(shou)腕置(zhi)于衣袖內,以隔絕污染源(yuan)。

11. 無塵衣著妥(tuo)后(hou),經(jing)洗塵,并踩踏除塵毯,方得(de)進入無塵室(shi)。

12. 不論(lun)進入或離開無(wu)塵室,須按規定在更衣室脫無(wu)塵衣,不可在其(qi)它區域(yu)為(wei)之,尤不可在無(wu)塵室內邊走(zou)邊脫。

13. 無塵(chen)衣,鞋套(tao)等,應定期清(qing)洗,有破損,脫(tuo)線時,應即換新。

14. 脫下無塵(chen)衣時,其順(shun)序(xu)與穿著(zhu)時相反(fan)。

15. 脫下之無塵衣應吊好,并放于更(geng)衣室內(nei)上層柜子中(zhong);鞋(xie)套應放置于吊好(hao)的無塵衣(yi)下方。

16. 更衣室內小(xiao)柜中,除了放置(zhi)無塵衣等規定物品(pin)外,不得放置(zhi)其它物品(pin)。

17. 除規定紙張及物(wu)品外,其它(ta)物(wu)品一概不得(de)攜入無(wu)塵室。

18. 無塵(chen)衣等不得攜出無塵(chen)室,用畢放置于規定處所。

19. 口罩(zhao)與手套可視狀況自行保管或重復(fu)使用。

20. 任何東西進(jin)入(ru)無塵(chen)室,必(bi)須用灑精擦拭干(gan)凈。

21. 任(ren)何(he)設備的進(jin)入,請(qing)知會管理人,在無塵室外擦拭干(gan)凈(jing),方可進(jin)入。

22. 未通過考核之(zhi)儀(yi)器,禁止使用(yong),若遇緊急(ji)情況,得依緊急(ji)處理步驟作適當(dang)處理,例(li)如關閉水、電、氣體等開關。

23. 無(wu)塵(chen)室內絕對(dui)不可動火,以免(mian)發生意外(wai)。


無塵(chen)室操作須知

1. ??處理芯片時,必(bi)(bi)須戴上無纖維手套,使用清洗(xi)過(guo)的(de)干(gan)凈鑷子(zi)挾(xie)持芯片,請(qing)勿(wu)以手指或(huo)其(qi)它任何東(dong)西接觸(chu)芯片,遭碰(peng)觸(chu)污染過(guo)的(de)芯片須經清洗(xi),方(fang)得繼續使用:(1) 任何一支鑷子(zi)前端(即挾(xie)持芯片端)如被碰(peng)觸(chu)過(guo),或(huo)是鑷子(zi)掉落地上,必(bi)(bi)須拿去清洗(xi)請(qing)勿(wu)用紙巾(jin)或(huo)布擦拭臟鑷子(zi)。

(2) 芯片(pian)清(qing)(qing)洗后進行下一(yi)程序(xu)前,若被手指碰觸過,必須重(zhong)新清(qing)(qing)洗。

(3) 把芯片(pian)放置(zhi)于(yu)石英舟上(shang),準備進爐管時,若發現所用鑷子有(you)(you)污(wu)損現象(xiang)或芯片(pian)上(shang)有(you)(you)顯(xian)眼(yan)由(you)鑷子所引起的(de)污(wu)染,必須(xu)將芯片(pian)重新(xin)清(qing)洗,并立即(ji)更換(huan)干凈(jing)的(de)鑷子使用。


2. 芯片必須放置盒中(zhong),蓋(gai)起(qi)來存放于規定位置,盡可能(neng)不讓它暴露(lu)。

3. 避免在芯片(pian)(pian)上談話(hua),以防(fang)止(zhi)唾液濺于芯片(pian)(pian)上,在芯片(pian)(pian)進擴散爐前,請(qing)特(te)別注(zhu)意,防(fang)止(zhi)上述(shu)動作(zuo)產生,若芯片(pian)(pian)上沾有纖維屑時,用氮氣槍(qiang)噴(pen)之。

4. 從鐵弗龍(Teflon)晶(jing)舟,石英(ying)舟(Quartz Boat)等載具(ju)(Carrier)上,取出芯(xin)片(pian)時(shi),必須垂(chui)直(zhi)向(xiang)上挾(xie)起,避(bi)免刮傷芯(xin)片(pian),顯微鏡鏡頭確(que)已離(li)芯(xin)片(pian),方可從吸座上移(yi)走芯(xin)片(pian)。

5. 芯(xin)(xin)片上(shang),若已長上(shang)氧化層,在送黃光室(shi)前切勿(wu)用鉆石(shi)刀(dao)在芯(xin)(xin)片上(shang)刻記。

6. 操作(zuo)時,不論(lun)是(shi)否戴上手套,手絕不能放進清(qing)洗水槽。?

7. 使用化(hua)學站或烤箱處理(li)芯片時,務必將(jiang)芯片置放于鐵弗龍(long)晶舟內,不可(ke)使用塑(su)料盒。

8. 擺置芯片于石英舟時,若芯片掉(diao)落地上或手中則必須(xu)重(zhong)新(xin)清(qing)洗芯片,然后再進(jin)氧化爐。

9. 請勿觸摸(mo)芯(xin)片(pian)盒內部,如被碰觸或有碎芯(xin)片(pian)污(wu)染(ran),必(bi)須重作清洗。

10. 手(shou)套,廢紙(zhi)及其(qi)它雜(za)碎東西,請勿(wu)留置于(yu)操作(zuo)臺,手(shou)套若燒焦、磨破或纖維質變多必須換新。

11. 非(fei)經指示,絕不可開啟不熟悉(xi)的(de)儀器及各種(zhong)開關閥控制鈕(niu)或把手。

12. 奇怪的味(wei)道或反(fan)應(ying)異常的溶液,顏(yan)色,聲響(xiang)等(deng)請即通知相(xiang)關人員。

13. 儀(yi)器(qi)因操作錯(cuo)誤而有任何損(sun)壞時,務必立刻告知負責人員(yuan)或老師。

14. 芯片盒(he)進出(chu)無塵室須保(bao)持(chi)干凈,并以保(bao)鮮膜封(feng)裝,違者不得進入。

15. 無塵室內一律使(shi)用(yong)原子(zi)筆及(ji)無塵筆記本做記錄(lu),一般紙張與鉛筆不得攜入(ru)。


黃(huang)光(guang)(guang)區操作(zuo)須知1. 濕度及(ji)溫度會(hui)影響(xiang)對準(zhun)(zhun)工(gong)作(zuo),在(zai)黃(huang)光(guang)(guang)區應(ying)(ying)注意溫度及(ji)濕度,并應(ying)(ying)減少對準(zhun)(zhun)機附近的(de)(de)人(ren),以(yi)減少濕、溫度的(de)(de)變化(hua)。2. 上妥光(guang)(guang)阻(zu)尚未(wei)曝(pu)光(guang)(guang)完成之芯片,不得攜(xie)出黃(huang)光(guang)(guang)區以(yi)免(mian)感光(guang)(guang)。3. 己上妥光(guang)(guang)阻(zu),而在(zai)等待對準(zhun)(zhun)曝(pu)光(guang)(guang)之芯片,應(ying)(ying)放置于不透明之藍黑色晶盒之內, 盒蓋必(bi)須蓋妥。4. 光(guang)(guang)罩使(shi)(shi)用(yong)(yong)時應(ying)(ying)持取(qu)邊緣,不得觸(chu)及(ji)光(guang)(guang)罩面,任何狀況之下,光(guang)(guang)罩鉻膜不得與他物(wu)接觸(chu),以(yi)防(fang)刮傷,光(guang)(guang)罩之落塵(chen)可以(yi)氮氣槍吹之。 5. 曝(pu)光(guang)(guang)時,應(ying)(ying)避(bi)免(mian)用(yong)(yong)眼(yan)睛(jing)直視曝(pu)光(guang)(guang)機汞燈。四、鑷子(zi)使(shi)(shi)用(yong)(yong)須知1. 進入實驗室(shi)后,應(ying)(ying)先戴上手套后,再取(qu)鑷子(zi),以(yi)免(mian)沾污(wu)。2. 唯有(you)使(shi)(shi)用(yong)(yong)干凈的(de)(de)鑷子(zi),才可持取(qu)芯片,鑷子(zi)一(yi)旦掉在(zai)地上或被手觸(chu)碰,或因其它原因而遭污(wu)染,必(bi)須拿去(qu)清洗,方(fang)可再使(shi)(shi)用(yong)(yong)。

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