無(wu)塵車間為什么要控制溫濕度(du)？主要作用和具體(ti)措施是什么？

潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)車(che)間和潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)室(shi)的(de)溫度(du)(du)和濕度(du)(du)主要根據(ju)你的(de)加(jia)工(gong)工(gong)藝要求(qiu)來確(que)定。在滿足加(jia)工(gong)工(gong)藝的(de)條(tiao)件下，潔(jie)凈(jing)(jing)(jing)廠房應優先考慮人的(de)舒適性。隨著空氣凈(jing)(jing)(jing)化要求(qiu)的(de)提高，工(gong)藝對溫濕度(du)(du)的(de)要求(qiu)越來越高，無(wu)塵凈(jing)(jing)(jing)化車(che)間必須達到一定的(de)溫濕度(du)(du)水平。

例(li)如，在大規模(mo)集成電路生產(chan)的光(guang)刻曝光(guang)工藝中，要求作為掩膜材料的玻璃和硅(gui)片的熱膨脹系(xi)數之差越來越小。對于直徑為100um的硅(gui)片，當溫度(du)上升1度(du)時，會引(yin)起0.24um。

所以(yi)必須有(you)±0.1度(du)的(de)(de)恒溫，同(tong)時要求(qiu)濕(shi)(shi)度(du)值一(yi)般較低，因(yin)為(wei)人出汗以(yi)后，對產(chan)品將有(you)污染，特別(bie)是怕(pa)鈉(na)的(de)(de)半導(dao)體車(che)間(jian)，這(zhe)種(zhong)車(che)間(jian)不宜超過25度(du)。　濕(shi)(shi)度(du)過高產(chan)生的(de)(de)問題更多。相對濕(shi)(shi)度(du)超過55%時，冷(leng)卻(que)水(shui)管(guan)壁上會(hui)結露(lu)，如果發(fa)生在精(jing)密(mi)裝置或電路中，就會(hui)引起各種(zhong)事(shi)故。相對濕(shi)(shi)度(du)在50%時易生銹。

然而(er)對于大部(bu)分潔凈空間，為了(le)防止外界污染侵入(ru)，需要保持內部(bu)的壓力（靜壓）高于外部(bu)的壓力（靜壓）。壓力差(cha)的維(wei)持一般應(ying)符合以下原(yuan)則：

1.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。
2.相通潔(jie)凈(jing)室之間的門要開向潔(jie)凈(jing)度級別高(gao)的房間。

3潔(jie)凈空間的壓(ya)力要(yao)高(gao)于非潔(jie)凈空間的壓(ya)力。

壓(ya)力(li)差的(de)(de)(de)維持依靠新風量，這個新風量要能補償在這一壓(ya)力(li)差下(xia)從(cong)縫隙漏泄(xie)掉的(de)(de)(de)風量。所以壓(ya)力(li)差的(de)(de)(de)物理意義就是(shi)漏泄(xie)（或滲透）風量通(tong)過潔凈室的(de)(de)(de)各種縫隙時的(de)(de)(de)阻(zu)力(li)。對(dui)于亂(luan)流(liu)潔凈室?由于主(zhu)要靠空氣(qi)的(de)(de)(de)稀釋作用來減輕室內(nei)污染的(de)(de)(de)程度，所以主(zhu)要用換氣(qi)次數這一概念，而不直接用速度的(de)(de)(de)概念，不過對(dui)室內(nei)氣(qi)流(liu)速度也(ye)有如下(xia)要求；

1.送風口出口氣流速度不宜太大，和單純空調房間相比，要求速度衰減更快，擴散角度更大。
2.吹(chui)(chui)過水平面的氣流速度(du)（例如(ru)側送(song)時回流速度(du)）不宜(yi)太大(da)，以免吹(chui)(chui)起表面微(wei)粒重返氣流，而造成再(zai)污染，這(zhe)一(yi)(yi)速度(du)一(yi)(yi)般不宜(yi)大(da)干0.2m/s。

在我國，《空氣潔凈技術措施》和<潔凈廠房設計規范））都是這樣規定的
垂直平行流（層流）潔凈室≥0.25m/s
水(shui)平(ping)平(ping)行流（層流）潔凈室≥0.35?m/s

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